EUVリソグラフィー装置はチップ製造の中核装置として注目を集めており、ASMLの重要性がますます高まっており、その波の中で、EUV露光装置の重要性がますます高まっています。
半導体製造とは、一連の複雑なステップを経て、ウェーハ上で特定の機能を実現できる完全なチップを機械加工するプロセスを指します。