一般の印象では、ウェーハは薄くて丸い高純度シリコンウェーハであり、この高純度シリコンウェーハを処理してさまざまな回路部品構造を製造できます。
現在、国内の真空半導体部品は約 3 ~ 5 年前の国内半導体装置の開発段階に相当しており、さまざまな部品の国内サプライヤーがいくつかあります。