SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…
セラミック粉末の噴霧造粒は、主にセラミック粉末の処理に使用される特殊な造粒方法です。