水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...
ジルコニアセラミックス(ZrO2)は、高融点、高硬度、耐摩耗性に優れ、常温および高温での絶縁体として...