微多孔セラミック真空チャックのポイントと製品特徴

新吸着プレートのこだわり

古いタイプの真空固定プレートは、処理材料を吸収するためにアルミニウム板とステンレス鋼板のスロットまたは穴を使用しています。 ただし、この方法では加工物が溝に沈み込み、吸着精度が低下します。 今回は、細孔径を1ミクロン未満から数百ミクロンの範囲で作製できる新たな多孔質セラミックスを開発しました。 微細な孔から空気を抜き、加工物をセラミック表面に押し付けます。 真空固定を実現します。

特徴

・ファウンチル独自のセラミック焼結技術により、多孔質セラミックスにより内部に粉塵が発生せず、良好な環境を維持します。

・用途に応じてセラミックの気孔率や気孔径を固定可能

・大型の真空固定円板も製作可能です。 最大。 2m (石のディスクの代わりに)

・様々な形状をプレートに固定できます。 ディスク表面の細孔の分布によってチェス盤状または同心円状の形状が決まるからです。 バキュームインターフェースは個別に設定することもできます。 加工の際は、加工物の形状や大きさに応じて、対応する真空コネクタを選定します。 加工物の形状を問わず吸着可能です。 （加工物の大きさが吸着部より大きくないと吸着しませんのでご注意ください）

・吸着面の材質は多孔質セラミックのため、高精度な自動切断を実現します。

・吸着物が磁性、非磁性を問わず安定して吸着できます。

・吸着面の均一吸着により、薄膜などの極薄の加工物の固定が可能です。

・真空バルブにより吸着力の調整が可能です。

・回転子には固定円盤が接続されており、固定物は固定円盤とともに回転することができます。

・高湿度や粘着性の液体下でも使用可能です。

ファウンチル テクノロジーズ PTE. 株式会社当社はシンガポールに拠点を置き、10年以上にわたり半導体分野における精密セラミック部品の研究開発、製造および技術サービスに注力してきました。 当社の主力製品はセラミックチャック、セラミックエンドエフェクター、セラミックプランジャー、セラミック角ビームで、研究開発部門、品質管理部門、設計部門、営業部門が含まれます。