SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…
近年、世界的にウェーハの需給バランスが崩れており、200mmウェーハの品薄状態は数年続くことが予想されています。