「微多孔質セラミックス」は、これまでの一般的な「セラミックス」という認識とは異なり、業界のいたるところで見られる工業用素材です。 微多孔質セラミックスに関して言えば、...
ウェーハの製造プロセスでは、ウェーハを一定の温度に加熱する必要があり、ウェーハの温度が均一であるため、ウェーハの温度均一性には非常に厳しい要件があります。