炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。
ウェーハ開発プロセスはリソグラフィ プロセスの重要なステップであり、数十年にわたる革新と進歩を経てきました。 では、一般的な開発手法はいくつあるのでしょうか? それは何ですか...