アルミナセラミックスは、アルミナ(Al2O3)を主体とした厚膜集積回路用セラミック材料です。
真空は半導体製造において非常に重要です。半導体産業では、真空環境は物理蒸着 (PVD)、化学蒸着などのさまざまなプロセスで使用されます。