炭化ケイ素 (SiC) は、その広いバンドギャップ、高い機械的強度、高い耐熱性により、エレクトロニクス産業においてシリコン (Si) ベースの半導体の代替材料と考えられています。
エッチングの利点は、サンプル作製コストが安く、一般的に使用される工業用金属材料のほとんどをエッチングできることです。 金属の硬さには制限がありません。 速くてシンプル...