水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...
近年、世界的にウェーハの需給バランスが崩れており、200mmウェーハの品薄状態は数年続くことが予想されています。