世界初の産業用ロボットは 1962 年に米国で誕生しました。米国の技術者ジョージ チャールズ デボル ジュニアは、「ティーチングとプレイバックによる自動化ロボットへの柔軟な対応」を提案しました。
EUVリソグラフィー装置はチップ製造の中核装置として注目を集めており、ASMLの重要性がますます高まっており、その波の中で、EUV露光装置の重要性がますます高まっています。