レーザーはウェーハ上に焦点を合わせ、光スポットを照射し、反射光は受光面上で再焦点合わせされ、光の分析を通じてシリコンウェーハの表面が...
世界初の産業用ロボットは 1962 年に米国で誕生しました。米国の技術者ジョージ チャールズ デボル ジュニアは、「ティーチングとプレイバックによる自動化ロボットへの柔軟な対応」を提案しました。