ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。
ただし、EUV リソグラフィー用のフォトレジスト メーカーはさらに増えるでしょう。 しかし現時点では、市場は日本企業が独占している。
