半導体産業チェーン、特に第 3 世代半導体 (ワイドバンドギャップ半導体) 産業チェーンでは、基板とエピタキシャル層が存在しますが、その重要性は何でしょうか。
静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。