ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
国内外の検査機器大手企業と設備紹介
