ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。
化学機械研磨 (CMP) は、集積回路チップの製造でウェーハ表面の平坦性を達成するために使用される技術です。
