水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...
ただし、EUVリソグラフィー用のフォトレジストメーカーはさらに増えるでしょう。 しかし、現時点では市場は日本企業が独占している。
