多孔質チャック テーブル、別名: 多孔質セラミック真空吸盤金属 (またはセラミック) ベースと特殊な多孔質セラミックの組み合わせで構成され、内部の精密な空気伝導設計、...
薄膜堆積は、基板上にナノスケールの膜の層を堆積し、その後エッチングや研磨などのプロセスを繰り返して、多数の積層された導電性または絶縁性の層を作成します。