精密セラミックス・アドバンストセラミックス・特殊セラミックスの専門製造
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…