炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。
機能性セラミックスは、光、熱、力、音、磁気、電気などの直接効果と結合効果を利用した先端素材です。