水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...
リソグラフィー技術は、写真技術やフラットプリンティング技術をベースに発展した半導体の基幹技術です。