2018年の世界のエッチング装置市場規模は約100億ドルに達しており、チッププロセスノードの削減に伴いエッチング工程はさらに増加し、...
集積回路製造の主要な技術と装置には、主にリソグラフィー技術とリソグラフィー装置、膜成長技術と装置、化学機械プロセスが含まれます。