多孔質チャック テーブル、別名: 多孔質セラミック真空吸盤金属 (またはセラミック) ベースと特殊な多孔質セラミックの組み合わせで構成され、内部の精密な空気伝導設計、...
10 年以上にわたり、液浸リソグラフィーは半導体製造における主要な露光技術でした。