情報技術の急速な発展と電子機器の高効率化への需要の高まりに伴い、炭化ケイ素(SiC)に代表される第3世代半導体材料が注目されています。
特殊セラミックスは、耐高温性、耐摩耗性、耐食性、高硬度、高精度など、金属やプラスチックにはない利点を備えているため、...