ウェーハの製造プロセスでは、ウェーハを一定の温度に加熱する必要があり、ウェーハの温度が均一であるため、ウェーハの温度均一性には非常に厳しい要件があります。
近年、世界的にウェーハの需給バランスが崩れており、200mmウェーハの品薄状態は数年続くことが予想されています。