Ngarep
Produk utama
Balok persegi & rel pandhuan kanggo platform gerakan ultra-presisi lan peralatan deteksi
Njupuk perakitan chuck vakum minangka conto, materi sing digunakake ing jaman wafer 2 inci lan 4 inci paling awal yaiku aluminium penerbangan, nanging wis nemoni bottleneck flatness ultra-dhuwur (luwih apik tinimbang 1 micron) ing jaman ukuran gedhe. wafer (8 "lan luwih saka 8"), kang ora bisa ketemu indeks hard flatness Ultra-dhuwur lan ngilangi. Sabanjure, materi alumina minangka transisi, modulus lentur sawijining, bobot entheng, konduktivitas termal lan koefisien expansion lan silikon karbida dwarf, nanging ora ing sawetara wadhi; Sawise terobosan ing teknologi preparation saka gedhe-ukuran lan Komplek khusus-shaped struktur kothong silikon karbida keramik, komponen kalebu ultra-tliti workpiece basa, Ultra-tliti online float guide, lan wafer transmisi lengen wis nganyari.
Ora mung bagean keramik silikon karbida sing kasebut ing ndhuwur sing cocog karo pratondho hard presisi ultra-dhuwur ing flatness, paralelisme, lan vertikalitas, kanggo bagean keramik karbida silikon kemurnian dhuwur sing dibutuhake kanggo difusi wafer, doping, proses etsa ing industri semikonduktor. , utamane ing teknologi persiapan bahan CVDSiC kanthi kemurnian dhuwur, nduweni teknologi proses sing diwasa, lan wis nyadari nggawe prau kristal keramik karbida silikon kemurnian dhuwur, piring bantalan keramik silikon karbida, platform gerakan ngambang udara keramik silikon karbida, ultra silikon karbida. -Platform obah presisi, rel pandhuan silikon karbida, komponen rel geser silikon karbida.
Ing mangsa ngarep, kita bakal luwih nggedhekake aplikasi bahan silikon karbida ing industri semikonduktor lan kontribusi kanggo nganyarke saka chain industri semikonduktor lan industri keramik silikon karbida. Komponen keramik karbida silikon presisi China riset independen lan promosi aplikasi domestik wis diwiwiti, kanthi pangembangan industri semikonduktor sing kuat, permintaan pasar kanggo struktur keramik dhuwur-dhuwur iki bakal luwih gedhe, silikon karbida kanthi fisik sing apik lan sifat kimia, ing industri semikonduktor nduweni prospek aplikasi sing wiyar.
Keramik silikon karbida ora mung nduweni sifat mekanik sing apik banget ing suhu kamar, kayata kekuatan lentur sing dhuwur, resistensi oksidasi sing apik, resistensi korosi sing apik, resistensi nyandhang dhuwur lan koefisien gesekan sing kurang, nanging uga sifat mekanik suhu dhuwur (kekuatan, resistensi penjilat, lsp.) minangka bahan keramik sing paling misuwur. Silicon carbide nduweni karakteristik resistance karat, resistance suhu dhuwur, kekuatan dhuwur, konduktivitas termal apik, resistance impact ... etc.
Keperluan mesin litografi kanggo struktur meja benda kerja: Ultra-ringan (nyuda inersia gerakan, nyuda beban motor), stabilitas ultra-dhuwur (mesin ultra-presisi mbutuhake gerakan lan posisi kanthi tliti dhuwur, mbutuhake deformasi ekspansi termal minimal lan faktor liyane. ), kebersihan (kekerasan dhuwur lan resistensi nyandhang dhuwur), Bisa nyukupi syarat teknis ukuran gedhe, tembok tipis kothong, struktur kompleks lan bagian struktural silikon karbida presisi kanggo peralatan utama manufaktur sirkuit terpadu sing diwakili dening mesin fotolitografi.
Kapabilitas Fountyl
Ukuran maksimal:1600 mm.
Kustomisasi struktur:struktur entheng, bisa dirancang kanggo ngurangi struktur bobot.
Akurasi dhuwur:Flatness bisa dikontrol ing 5 mikron utawa akurasi sing luwih dhuwur.