მთავარი
პროდუქტები
0102030405
ელექტროსტატიკური ჩაკი თავსებადობით, მაღალი სიმკვრივით, მაღალი სტრუქტურული სიმტკიცით მორგებული
მახასიათებლები
თავსებადობა | მორგება | მაღალი სიმკვრივის | მაღალი სტრუქტურული სიმტკიცე | სწრაფი მიწოდების დრო | ეკონომიურად ეფექტური
აპლიკაციები
ლონ-იმპლანტაცია | თხელი ფილმი | Etch | პროცესის განვითარება | აღჭურვილობის დიზაინი
დიზაინი და წარმოება
12 დიუმიანი Fab მიწოდებულია რეალური მუშაობის შესამოწმებლად, რეგენერაციისა და შეკეთების უზრუნველსაყოფად და განვითარებისა და დიზაინის შესამოწმებლად.
ნახევარგამტარული და ინტეგრირებული მიკროსქემის პროცესის აღჭურვილობისა და პროცესის ტექნოლოგიის შემუშავებით, ტრადიციული ელექტროსტატიკური ჩამკეტები, რომლებიც იყენებენ ორგანულ პოლიმერულ მასალებს, ლითონის ოქსიდებს და კერამიკულ მასალებს, როგორც დიელექტრიკებს, სრულად არ შეესაბამება ისეთ მასალებს, როგორიცაა სილიკონის ვაფლი, საფირონი და სილიციუმის კარბიდი. ამიტომ, ეტაპობრივად განვითარდება პირველი, მეორე და მესამე თაობის ნახევარგამტარული ვაფლის დამჭერებთან თავსებადი ელექტროსტატიკური ჩამკეტები.
პოლიმერული ელექტროსტატიკური ჩაკი / გამათბობელი
პოლიმერული დიელექტრიკული მასალა (პოლიმერი) ამჟამად ყველაზე ფართოდ გამოყენებული ელექტროსტატიკური ჩაკის მასალაა, მისი მომზადების პროცესი ასევე ყველაზე მწიფეა, პოლიმერული დიელექტრიკული მასალა პოლიმერული მოდიფიკაციის დამუშავების შემდეგ, ელექტრული, მექანიკური, ტემპერატურის წინააღმდეგობა, ჰალოგენის წინააღმდეგობის თვისებები მნიშვნელოვნად გაუმჯობესდება. დიელექტრიკული მასალა ფორმირებულია სხვა ინტეგრირებული ოპერაციებით, შემდეგ კი მრავალსაფეხურიანი ვაკუუმური მძიმე დატვირთვით ფენდება და შიდა ელექტროდებს შორის წარმოიქმნება მკვრივი დიელექტრიკული საიზოლაციო ფენა.
პოლიმერული ელექტროსტატიკური ჩაკი
პოლიმერული მოდიფიკაციის ტექნოლოგია გამოიყენება უფრო მაღალი მოცულობითი წინააღმდეგობის და შედარებით დიელექტრიკული მუდმივის მისაღწევად და უფრო სტაბილური დამაგრების ძალის მისაღებად.
მაღალი სიმკვრივის დიელექტრიკულ მასალებს შეუძლიათ შეამცირონ ნაწილაკების რისკი და შეამცირონ იონების მოძრაობა.
დამჭერი ობიექტების მრავალფეროვნება შეიძლება შეესაბამებოდეს სხვადასხვა მასალის ვაფლის დამაგრებას.
შესანიშნავი კოროზიის წინააღმდეგობა ჰალოგენისა და პლაზმის ატმოსფეროში.
მაღალი ღირებულების შესრულება, მიღების მოკლე პერიოდი, შესაფერისი პროდუქტის პროცესის განვითარებისა და ახალი აღჭურვილობის განვითარების შემოწმებისთვის.
პოლიმერული ელექტროსტატიკური ჩაკი გამათბობლით
მას შეუძლია გააცნობიეროს მრავალი გათბობის ტემპერატურის ზონის განლაგება (20 ტემპერატურულ ზონამდე) და აქვს კარგი გათბობის ტემპერატურის ერთგვაროვნება (±5%℃@150℃).
ვაკუუმური ლამინირების ტექნოლოგია გამოიყენება უკიდურესად მაღალი სიმკვრივისა და გათბობის ტემპერატურის მისაღწევად 200 ° C-მდე.
ერთიანი გათბობის მრუდი, ტემპერატურის მრუდის უფრო ფართო დიაპაზონის პარამეტრები.
მაღალი ღირებულების შესრულება, მიღების მოკლე პერიოდი, შესაფერისი პროდუქტის პროცესის განვითარებისა და ახალი აღჭურვილობის განვითარების შემოწმებისთვის.
კერამიკა ელექტროსტატიკური ჩაკი / გამათბობელი
კერამიკული კოაგულაციის ტექნოლოგია არის გაუმჯობესებული აგლომერაციის პროცესი ალუმინის/ალუმინის ნიტრიდის კერამიკული ელექტროსტატიკური ჩამკეტების და გამათბობლების შემუშავებაში. მისი ძირითადი მიზანია გამოიყენოს სხვადასხვა ნანომეტრი დიამეტრის კერამიკული ფხვნილები, რომლებიც შერეულია გარკვეული პროპორციით უნიკალური შერევის აღჭურვილობისა და შერევის პროცესის მეშვეობით. კერამიკული ელექტროსტატიკური ჩამკეტები მაღალი სიმკვრივით, სტაბილური კრისტალური სტრუქტურით და წინაღობის ერთგვაროვანი განაწილებით იყო აგლომერირებული აგლომერაციის გარკვეული ტემპერატურის მრუდით აგლომერაციის მოწყობილობებში. კერამიკული კოაგულაციის ტექნოლოგიით წარმოებულ სტატიკური ჩაკს აქვს მაღალი სიმკვრივე, სტაბილური კრისტალური სტრუქტურა და მოცულობითი წინააღმდეგობის ერთგვაროვანი განაწილება და შეუძლია განახორციელოს ჩიპის ნორმალური დამაგრების ფუნქცია მკაცრი გარემოში მაღალი ვაკუუმის, პლაზმისა და ჰალოგენის პირობებში.
Al2O3 ელექტროსტატიკური ჩაკი
მოცულობის წინაღობა კონტროლდება კოაგულაციის კერამიკული ტექნოლოგიით და ერთობლივი სროლის პროცესით, უფრო ხანგრძლივი შეკავების ძალის მისაღებად.
მაღალი ტემპერატურის აგლომერაციის შიდა სტრუქტურა მკვრივია და კრისტალური სტრუქტურა სტაბილურია და უფრო დიდი ტემპერატურული ინტერვალის ტევადობის მიღება შესაძლებელია.
ინტეგრირებული თანასროლის ჩამოსხმა ამცირებს იონების მიგრაციას.
ხანგრძლივი მოქმედება პლაზმის ჰალოგენური ვაკუუმის ატმოსფეროში.
AlN ელექტროსტატიკური ჩაკი
ბეტონის მასალის შემადგენლობისა და პროპორციის კონტროლით შესაძლებელია მოცულობის წინააღმდეგობის გაკონტროლება და უფრო დიდი ტემპერატურული ინტერვალით შეკავების უნარის მიღება.
ტემპერატურული ზონის ერთგვაროვანი განაწილება უზრუნველყოფილია ბეტონის კერამიკის აგლომერაციის ტექნოლოგიით და ერთობლივი სროლის პროცესით.
ინტეგრირებული ერთობლივი სროლის ჩამოსხმა პროდუქტის ხარისხის მაქსიმიზაციისთვის.
ხანგრძლივი მოქმედება პლაზმის ჰალოგენური ვაკუუმის ატმოსფეროში.
კერამიკის ელექტროსტატიკური ჩაკი გამათბობლით
მას შეუძლია გააცნობიეროს მრავალი გათბობის ტემპერატურის ზონის განლაგება და აქვს კარგი გათბობის ტემპერატურის ერთგვაროვნება (±7.5%℃@350℃).
ვაკუუმური ლამინირების აგლომერაციის ტექნოლოგია გამოიყენება უკიდურესად მაღალი გამკვრივებისა და 550℃-მდე გათბობის ტემპერატურის მისაღწევად.
ინტეგრირებული ერთობლივი სროლის ჩამოსხმა პროდუქტის ხარისხის მაქსიმიზაციისთვის.
ხანგრძლივი მოქმედება პლაზმის ჰალოგენური ვაკუუმის ატმოსფეროში.
კომპლექსური ტიპის ელექტროსტატიკური ჩაკი / გამათბობელი
შეიძლება იყოს თავსებადი სილიკონთან, გალიუმის არსენიდთან, სილიციუმის კარბიდთან, ვაფლის საფირონთან, შეუძლია შეამციროს მავთულის შეცვლის ხარჯები აღჭურვილობის მწარმოებლებისა და საბოლოო მომხმარებლების მიერ. ბეტონის კერამიკული ტექნოლოგიისა და პოლიმერული მოდიფიკაციის ტექნოლოგიაზე დაყრდნობით, ინტეგრირებული ვაკუუმური ლამინირებისა და ცხელი შემაერთებელი ტექნოლოგიის გამოყენებამ შეიძლება შეამციროს ელექტროსტატიკური საწოვის შიდა თერმული წინააღმდეგობა, მიაღწიოს შიდა ტემპერატურის ერთგვაროვნებას, შექმნას მკვრივი დიელექტრიკული საიზოლაციო ფენა იონის მიგრაციის წინააღმდეგობის გასაუმჯობესებლად.
კომპლექსური ტიპის ელექტროსტატიკური ჩაკი
ბეტონის კერამიკული და პოლიმერული მოდიფიკაციის ტექნოლოგიის გამოყენება, აქვს უფრო მკვრივი სტრუქტურა და უფრო დაბალი გაზის გამოყოფა.
დიელექტრიკული ფენისა და ელექტროდის ნაპირის სისქის უფრო მკაცრი კონტროლი.
დამჭერი ობიექტების მრავალფეროვნება შეიძლება თავსებადი იყოს სხვადასხვა ვაფლის დამაგრებასთან.
სხეულის წინააღმდეგობის გაკონტროლება შესაძლებელია უფრო ძლიერი ელექტროსტატიკური ტევადობის მისაღებად.
მაღალი ღირებულების შესრულება, მიღების მოკლე პერიოდი, შესაფერისი პროდუქტის პროცესის განვითარებისა და ახალი აღჭურვილობის განვითარების შემოწმებისთვის.
კომპლექსური ტიპის ელექტროსტატიკური ჩაკი გამათბობლით
მას შეუძლია გააცნობიეროს მრავალი გათბობის ტემპერატურის ზონის განლაგება და აქვს კარგი გათბობის ტემპერატურის ერთგვაროვნება (±3.5%℃@150℃).
ვაკუუმური ლამინირების ტექნოლოგია გამოიყენება უკიდურესად მაღალი სიმკვრივისა და გათბობის ტემპერატურის მისაღწევად 200 ° C-მდე.
ერთიანი გათბობის მრუდი, ტემპერატურის მრუდის უფრო ფართო დიაპაზონის პარამეტრები.
მაღალი ღირებულების შესრულება, მიღების მოკლე პერიოდი, შესაფერისი პროდუქტის პროცესის განვითარებისა და ახალი აღჭურვილობის განვითარების შემოწმებისთვის.