Үй
Өнімдер
0102030405
Үйлесімділік, жоғары тығыздық, теңшелген құрылымдық беріктігі бар электростатикалық патрон
Ерекше өзгешеліктері
Үйлесімділік | Баптау | Жоғары тығыздық | Жоғары құрылымдық беріктік | Жылдам жеткізу уақыты | үнемді
Қолданбалар
Ұзын имплантация | Жұқа пленка | Etch | Процесті әзірлеу | Жабдықты жобалау
Дизайн және өндіріс
12 дюймдік Fab нақты өнімділікті тексеру, қалпына келтіру мен жөндеуді қамтамасыз ету, әзірлеу мен дизайнды тексеру үшін жеткізілді.
Жартылай өткізгішті және интегралды схеманың технологиялық жабдықтары мен технологиялық технологиясының дамуы кезінде органикалық полимерлі материалдарды, металл оксидтерін және диэлектриктер ретінде керамикалық материалдарды пайдаланатын дәстүрлі электростатикалық патрондар кремний пластиналары, сапфир және кремний карбиді сияқты материалдармен толық үйлеспейді. Сондықтан бірінші, екінші және үшінші буын жартылай өткізгіш пластинкалы ұстағыштармен үйлесімді электростатикалық патрондар біртіндеп дамитын болады.
Полимерлі электростатикалық патрон / жылытқыш
Полимерлі диэлектрлік материал (Полимер) қазіргі уақытта ең көп қолданылатын электростатикалық патрон материалы болып табылады, оны дайындау процесі де ең жетілген, полимерді модификациялаудан кейін полимер диэлектрлік материал болып табылады, электрлік, механикалық, температураға төзімділік, галогенге төзімділік қасиеттері айтарлықтай жақсарады. Диэлектрлік материал басқа біріктірілген операциялармен өрнектеледі, содан кейін көп сатылы вакуумдық ауыр жүктеме арқылы қабатталады және ішкі электродтар арасында тығыз диэлектрлік оқшаулау қабаты пайда болады.
Полимерлі электростатикалық патрон
Полимерді модификациялау технологиясы жоғары көлемдік меншікті кедергіге және салыстырмалы диэлектрлік өтімділікке қол жеткізу және тұрақты қысқыш күш алу үшін қолданылады.
Жоғары тығыздықтағы диэлектрлік материалдар бөлшектердің пайда болу қаупін азайтып, иондардың қозғалғыштығын азайтады.
Қысқыш объектілердің әртүрлілігі әртүрлі материалдардан жасалған пластиналарды қысумен үйлесімді болуы мүмкін.
Галогендік және плазмалық атмосферада тамаша коррозияға төзімділік.
Жоғары шығындар өнімділігі, қысқа қабылдау мерзімі, өнім процесін әзірлеуге және жаңа жабдықты әзірлеуді тексеруге жарамды.
Қыздырғышы бар полимерлі электростатикалық патрон
Ол бірнеше қыздыру температуралық аймақтарының (20 температуралық аймақтарға дейін) орналасуын жүзеге асыра алады және жақсы қыздыру температурасының біркелкілігіне ие (±5% ℃ @ 150 ℃).
Вакуумды ламинаттау технологиясы өте жоғары тығыздық пен 200 ° C дейін қыздыру температурасына қол жеткізу үшін қолданылады.
Біркелкі қыздыру қисығы, температура қисығының кең диапазоны Параметрлер.
Жоғары шығындар өнімділігі, қысқа қабылдау мерзімі, өнім процесін әзірлеуге және жаңа жабдықты әзірлеуді тексеруге жарамды.
Керамика Электростатикалық патрон / жылытқыш
Керамикалық коагуляция технологиясы алюминий тотығы/алюминий нитриді керамикалық электростатикалық патрондар мен қыздырғыштарды әзірлеудегі жетілдірілген агломерациялық процесс болып табылады. Оның негізі бірегей араластыру жабдығы мен араластыру процесі арқылы белгілі бір пропорцияда араласатын нанометрлік диаметрлі керамикалық ұнтақтардың алуан түрін пайдалану болып табылады. Тығыздығы жоғары, тұрақты кристалдық құрылымы және біркелкі меншікті кедергісі бар керамикалық электростатикалық патрондар агломерациялық жабдықта агломерациялық температураның белгілі қисығымен агломерацияланды. Керамикалық коагуляция технологиясы бойынша жасалған статикалық патрон жоғары тығыздыққа, тұрақты кристалдық құрылымға және біркелкі көлемдік кедергіге ие және жоғары вакуум, плазма және галоген жағдайында қатал ортада чиптің қалыпты қысу функциясын жүзеге асыра алады.
Al₂O₃ Электростатикалық патрон
Көлемнің кедергісі коагуляциялық керамикалық технологиямен және ұзағырақ ұстау күшін алу үшін бірге күйдіру процесі арқылы бақыланады.
Жоғары температуралық агломерацияның ішкі құрылымы тығыз және кристалдық құрылымы тұрақты және үлкенірек температура интервалының ұстау қабілетін алуға болады.
Біріктірілген бірге күйдіретін қалыптау иондардың миграциясын азайтады.
Плазмадағы галогендік вакуумдық атмосферада ұзақ жұмыс.
AlN электростатикалық патрон
Бетон материалының құрамы мен пропорциясын бақылау арқылы көлемдік кедергіні басқаруға болады және үлкенірек температура интервалында ұстау қабілетін алуға болады.
Температура аймағының біркелкі таралуы бетон керамикасын агломерациялау технологиясы мен бірге күйдіру процесі арқылы қамтамасыз етіледі.
Өнім сапасын барынша арттыру үшін біріктірілген бірге күйдіретін қалыптау.
Плазмадағы галогендік вакуумдық атмосферада ұзақ жұмыс.
Керамика жылытқышы бар электростатикалық патрон
Ол бірнеше қыздыру температурасы аймақтарының орналасуын жүзеге асыра алады және жақсы қыздыру температурасының біркелкілігіне ие (±7,5% ℃ @ 350 ℃).
Вакуумды ламинаттау агломерациялау технологиясы өте жоғары тығыздауға және 550 ℃ дейін қыздыру температурасына қол жеткізу үшін қолданылады.
Өнім сапасын барынша арттыру үшін біріктірілген бірге күйдіретін қалыптау.
Плазмадағы галогендік вакуумдық атмосферада ұзақ жұмыс.
Күрделі типті электростатикалық патрон / жылытқыш
Кремниймен, галлий арсенидімен, кремний карбидімен, вафельді қысатын сапфирмен үйлесімді болуы мүмкін, жабдық өндірушілері мен соңғы пайдаланушылардың сымды ауыстыру шығындарын азайтады. Бетон керамикалық технологиясы және полимерді модификациялау технологиясы негізінде біріктірілген вакуумдық ламинация және ыстық байланыстыру технологиясын пайдалану электростатикалық сорғыштың ішкі жылу кедергісін азайтуға, ішкі температураның біркелкілігіне қол жеткізуге, иондардың миграцияға төзімділігін жақсарту үшін тығыз диэлектрлік оқшаулау қабатын қалыптастыруға мүмкіндік береді.
Күрделі типті электростатикалық патрон
Бетонды керамикалық және полимерді модификациялау технологиясын пайдалану жоғары тығыз құрылымға және газдың аз бөлінуіне ие.
Диэлектрик қабаты мен электрод қабатының қалыңдығын қатаң бақылау.
Қысқыш объектілердің әртүрлілігі әртүрлі пластиналарды қысумен үйлесімді болуы мүмкін.
Күшті электростатикалық ұстау қабілетін алу үшін дененің кедергісін дәл басқаруға болады.
Жоғары шығындар өнімділігі, қысқа қабылдау мерзімі, өнім процесін әзірлеуге және жаңа жабдықты әзірлеуді тексеруге жарамды.
Күрделі типті жылытқышы бар электростатикалық патрон
Ол бірнеше қыздыру температурасы аймақтарының орналасуын жүзеге асыра алады және жақсы қыздыру температурасының біркелкілігіне ие (±3,5% ℃ @ 150 ℃).
Вакуумды ламинаттау технологиясы өте жоғары тығыздық пен 200 ° C дейін қыздыру температурасына қол жеткізу үшін қолданылады.
Біркелкі қыздыру қисығы, температура қисығының кең диапазоны Параметрлер.
Жоғары шығындар өнімділігі, қысқа қабылдау мерзімі, өнім процесін әзірлеуге және жаңа жабдықты әзірлеуді тексеруге жарамды.