Үй
Негізгі өнім
0102030405
Микрокеуекті керамикалық вакуумдық патрон
Керамикалық вакуумдық патронның ерекшеліктері
Күшті өткізгіштік: біркелкі ауа өткізгіштігі және су өткізгіштігі, сырғымасыз тегістеу процесінде кремний пластинаның біркелкі күші мен тығыз адсорбциясын қамтамасыз ету.
Тығыз және біркелкі құрылым: кремний шаңын сіңіру оңай емес, тығыз және біркелкі құрылымы бар микро-кеуекті керамикалық материалды қабылдау, ал патронды тазалау оңай.
Жоғары беріктік: тегістеу кезінде деформация болмайды, кремний пластинасы тегістеу кезінде әр нүктеде біркелкі кернеу болуын қамтамасыз етеді және жиектердің құлауы, қоқыс құбылыстары оңай болмайды.
Ұзақ қызмет ету мерзімі: бет пішінін сақтау жақсы, таңу циклі ұзақ және таңу мөлшері аз, сондықтан оның қызмет ету мерзімі жоғары.
Жеңіл киіну: кигенде жару, бөлшектену, бастыру құбылыстары болмайды.
Жеңіл: Кеуектердің ішкі құрылымына байланысты меншікті ауырлық коэффициенті 1,6-2,8.
Жоғары оқшаулау: оқшаулағыш материал, статикалық электр энергиясын жояды.
Дәлдік бақылау
| санат | Негізгі материал | Адсорбциялық беттік материал | Өлшем | Жазық | параллелизмнің тереңдігі |
| Кеуекті патрон | Алюминий қорытпасы | Кеуекті SIC | ≤12μm | ≤15мкм | ≤20мкм |
| Тот баспайтын болат | ≤10мкм | ≤15мкм | |||
| Глинозем | ≤5мкм | ≤8мкм | |||
| Кремний карбиді | ≤3мкм | ≤8мкм | |||
| Кеуекті керамикалық патрон 3 дюймдік сызықта, 4 дюймдік сызықта, 5 дюймдік сызықта, 6 дюймдік сызықта, 8 дюймдік сызықта және 12 дюймдік сызықта пайдалануға болатын сипаттамалар мен өлшемдердің толық ауқымына ие. сізге қажет сипаттамалар мен өлшемдерге сәйкес теңшеуге болады. | |||||
| Ағымдағы корпустың максималды өлшемі: 1600*1600м, қалыңдығы 50мм; | |||||
Кеуекті керамикалық материалдың сипаттамалары:
Негізгі ингредиенттер: глинозем Түсі: қара, темір сұр
Глиноземнің мөлшері: 92% Ылғалдылығы: 0%
Диафрагма: 2~30um Кеуектілік: 35~40%
Иілу күші: 6кгф/см2 (Мпа) Көлемдік қатынас: 2,28г/см3
Керамикалық патрон түрі
Қолданылуы бойынша керамикалық патрондар бөлінеді:
Жіңішкерту машинасы мыналармен жабдықталған: абразивті дискі патронымен, кремний пластинасымен, сапфирді субстратпен және басқа да сұйылтумен;
Кесетін станок мыналармен жабдықталған: сызғыш патрон, кремний пластинасы, жартылай өткізгіш қоспа пластинасы және басқа кесу;
Тазалау машинасымен жабдықталған: тазалау патронымен;
Қабыршақты кетіретін машина мыналармен жабдықталған: пленканы кетіретін патрон;
Ламинациялау машинасымен жабдықталған: ламинаттау патронымен;
Баспа машинасымен жабдықталған: баспа патроны.
Сапа кепілдігі
Фоунтилдің керамикалық патронға арналған өнімнің тұрақтылығын және консистенциясын қамтамасыз ету үшін инженерлік керамикалық дәлдік және өте дәлдікпен өңдеу және өндіру, әртүрлі физикалық және химиялық талдау аспаптары мен геометриялық өлшеу құралдары бойынша көп жылдық техникалық тәжірибесі бар.
Өнімді қолдану
Кеуекті патрон (адсорбциялық жұмыс үстелі) - жартылай өткізгішті өндіру сатысында қолданылатын және сызғыш машинада немесе тексеру құрылғысында құрастырылған құрамдас бөлік. Бұл жұқа кремний пластинасын тегіс ұстау үшін жұмыс үстелінің бетінің кеуекті құрылымы мен теріс қысымын пайдалана алатын өнім. Скрипинг машинасы ені шамамен 20 мкм кремний пластинасын кеседі, сондықтан пластинаның адсорбциялық бетінің тегістігі мен параллельділігіне қойылатын талаптар өте жоғары. Сәйкес сипаттамаларына сәйкес, әртүрлі кеуекті құрылымдардың әртүрлі қолдану ауқымдары бар, мысалы, үлкен спецификалық бетінің ауданы және шағын кеуек өлшемі бар микрокеуекті керамика, әдетте бактериялық фильтрация және микробтарды бекіту өрістерінде қолданылады; Мезокеуекті керамика өзінің диаметрінің ерекше таралуымен жиі сепараторлық, адсорбциялық катализдік өрістерде қолданылады. Үлкен кеуекті керамика әдетте көп мөлшерде және үлкен өлшемдегі заттарды дөрекі сүзу үшін жарамды.