ផ្ទះ
ផលិតផល
ចង្កឹះអគ្គីសនីជាមួយនឹងភាពឆបគ្នា, ដង់ស៊ីតេខ្ពស់, កម្លាំងរចនាសម្ព័ន្ធខ្ពស់ជាមួយនឹងការប្ដូរតាមបំណង
លក្ខណៈពិសេស
ភាពឆបគ្នា | ការប្ដូរតាមបំណង | ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ | កម្លាំងរចនាសម្ព័ន្ធខ្ពស់ | ពេលវេលាដឹកជញ្ជូនលឿន | ចំណាយមានប្រសិទ្ធិភាព
កម្មវិធី
លន់-ផ្សាំ | ភាពយន្ត ស្តើង | អេច | ដំណើរការអភិវឌ្ឍន៍ | ការរចនាឧបករណ៍
រចនា និងផលិត
Fab 12 អ៊ីង ផ្តល់ជូនដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់ការអនុវត្តជាក់ស្តែង ផ្តល់នូវការបង្កើតឡើងវិញ និងការជួសជុល និងផ្ទៀងផ្ទាត់ការអភិវឌ្ឍន៍ និងការរចនា។
ជាមួយនឹងឧបករណ៍ដំណើរការ និងការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាដំណើរការនៃ semiconductor និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា ចង្កឹះអេឡិចត្រូស្តាតបែបប្រពៃណីដែលប្រើវត្ថុធាតុ polymer សរីរាង្គ អុកស៊ីដលោហៈ និងសម្ភារៈសេរ៉ាមិចជា dielectrics គឺមិនឆបគ្នាពេញលេញជាមួយសម្ភារៈដូចជា silicon wafers, ត្បូងកណ្តៀង និង silicon carbide ។ ដូច្នេះ chucks electrostatic ដែលត្រូវគ្នាជាមួយ wafer grippers semiconductor ជំនាន់ទី 1 ទីពីរ និងទីបីនឹងអភិវឌ្ឍបន្តិចម្តងៗ។
ប៉ូលីមឺរ អេឡិចត្រុស្ទិច Chuck / Heater
វត្ថុធាតុ polymer dielectric (Polymer) គឺជាសម្ភារៈ chuck electrostatic ដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុត ដំណើរការរៀបចំរបស់វាក៏ជាវត្ថុធាតុ polymer dielectric ចាស់ទុំបំផុត បន្ទាប់ពីការព្យាបាលការកែប្រែវត្ថុធាតុ polymer អគ្គិសនី មេកានិច ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព លក្ខណៈសម្បត្តិធន់ទ្រាំនឹង halogen នឹងប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ សម្ភារៈឌីអេឡិចត្រិចត្រូវបានលំនាំដោយប្រតិបត្តិការរួមបញ្ចូលគ្នាផ្សេងទៀត ហើយបន្ទាប់មកត្រូវបានស្រទាប់ដោយពហុដំណាក់កាលនៃបន្ទុកធ្ងន់ ហើយស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ dielectric ក្រាស់ត្រូវបានបង្កើតឡើងរវាងអេឡិចត្រូតខាងក្នុង។
ប៉ូលីម៊ែរ អេឡិចត្រុស្ទិក
បច្ចេកវិជ្ជាកែប្រែវត្ថុធាតុ polymer ត្រូវបានប្រើដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពធន់នឹងបរិមាណខ្ពស់ និងថេរ dielectric ដែលទាក់ទង និងទទួលបានកម្លាំងតោងដែលមានស្ថេរភាពជាងមុន។
សមា្ភារៈ dielectric ដង់ស៊ីតេខ្ពស់អាចកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃភាគល្អិតនិងកាត់បន្ថយការចល័តអ៊ីយ៉ុង។
ភាពចម្រុះនៃការតោងវត្ថុអាចត្រូវគ្នាជាមួយនឹងការគៀបនៃ wafers នៃវត្ថុធាតុផ្សេងគ្នា។
ភាពធន់នឹងការ corrosion ដ៏ល្អនៅក្នុងបរិយាកាស halogen និងប្លាស្មា។
ការអនុវត្តថ្លៃដើមខ្ពស់ រយៈពេលទទួលយកខ្លី សមរម្យសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍន៍ដំណើរការផលិតផល និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ការអភិវឌ្ឍន៍ឧបករណ៍ថ្មី។
ប៉ូលីមឺរ អេឡិចត្រុសស្ទិក ជាមួយម៉ាស៊ីនកម្តៅ
វាអាចដឹងពីប្លង់នៃតំបន់សីតុណ្ហភាពកំដៅច្រើន (រហូតដល់ 20 តំបន់សីតុណ្ហភាព) និងមានសីតុណ្ហភាពកំដៅល្អ (± 5% ℃ @ 150 ℃) ។
បច្ចេកវិទ្យា Vacuum lamination ត្រូវបានប្រើដើម្បីសម្រេចបាននូវដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងសីតុណ្ហភាពកំដៅរហូតដល់ 200 ° C ។
ខ្សែកោងកំដៅឯកសណ្ឋាន ជាមួយនឹងជួរធំទូលាយនៃការកំណត់ខ្សែកោងសីតុណ្ហភាព។
ការអនុវត្តថ្លៃដើមខ្ពស់ រយៈពេលទទួលយកខ្លី សមរម្យសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍន៍ដំណើរការផលិតផល និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ការអភិវឌ្ឍន៍ឧបករណ៍ថ្មី។
សេរ៉ាមិច Electrostatic Chuck / Heater
បច្ចេកវិជ្ជា coagulation សេរ៉ាមិចគឺជាដំណើរការ sintering ប្រសើរឡើងនៅក្នុងការអភិវឌ្ឍនៃ alumina / aluminum nitride chucks electrostatic ceramics និងកំដៅ។ ស្នូលរបស់វាគឺប្រើម្សៅសេរ៉ាមិចដែលមានអង្កត់ផ្ចិត nanometer ជាច្រើនប្រភេទ ដែលត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាក្នុងសមាមាត្រជាក់លាក់មួយតាមរយៈឧបករណ៍លាយពិសេស និងដំណើរការលាយ។ ចង្កឹះអគ្គីសនីសេរ៉ាមិចដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់មានស្ថេរភាពនិងការចែកចាយធន់ទ្រាំឯកសណ្ឋានត្រូវបាន sintered ជាមួយនឹងខ្សែកោងសីតុណ្ហភាព sintering ជាក់លាក់នៅក្នុងឧបករណ៍ sintering ។ ចង្កឹះឋិតិវន្តដែលផលិតដោយបច្ចេកវិជ្ជា coagulation សេរ៉ាមិចមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់មានស្ថេរភាព និងការចែកចាយភាពធន់នៃបរិមាណឯកសណ្ឋាន ហើយអាចដឹងពីមុខងារនៃការតោងធម្មតារបស់បន្ទះឈីបនៅក្នុងបរិយាកាសដ៏អាក្រក់ក្រោមការខ្វះចន្លោះខ្ពស់ ប្លាស្មា និង halogen ។
Al₂O₃ Chuck អេឡិចត្រូស្ទិក
ភាពធន់នៃបរិមាណត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយបច្ចេកវិជ្ជាសេរ៉ាមិច coagulation និងដំណើរការបាញ់រួមគ្នាដើម្បីទទួលបានកម្លាំងកាន់បានយូរ។
រចនាសម្ព័ន្ធខាងក្នុងនៃ sintering សីតុណ្ហភាពខ្ពស់គឺក្រាស់ហើយរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់មានស្ថេរភាពហើយសមត្ថភាពកាន់នៃចន្លោះពេលសីតុណ្ហភាពធំជាងអាចទទួលបាន។
ការបញ្ចូលផ្សិតរួមគ្នាកាត់បន្ថយការធ្វើចំណាកស្រុករបស់អ៊ីយ៉ុង។
ប្រតិបត្តិការយូរអង្វែងនៅក្នុងបរិយាកាសបូមធូលី halogen ប្លាស្មា។
AlN Electrostatic Chuck
តាមរយៈការគ្រប់គ្រងសមាសភាព និងសមាមាត្រនៃសម្ភារៈបេតុង ភាពធន់នៃកម្រិតសំឡេងអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រង ហើយសមត្ថភាពកាន់ក្នុងចន្លោះសីតុណ្ហភាពធំជាងអាចទទួលបាន។
ការចែកចាយតំបន់សីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋានត្រូវបានធានាដោយបច្ចេកវិទ្យា sintering និងដំណើរការរួមគ្នានៃសេរ៉ាមិចបេតុង។
ការដាក់បញ្ចូលគ្នារវាងផ្សិតចំបើង ដើម្បីបង្កើនគុណភាពផលិតផល។
ប្រតិបត្តិការយូរអង្វែងនៅក្នុងបរិយាកាសបូមធូលី halogen ប្លាស្មា។
ចង្រ្កានអគ្គីសនីសេរ៉ាមិចជាមួយម៉ាស៊ីនកំដៅ
វាអាចដឹងពីប្លង់នៃតំបន់សីតុណ្ហភាពកំដៅច្រើន និងមានសីតុណ្ហភាពកំដៅល្អ (±7.5% ℃ @ 350 ℃) ។
បច្ចេកវិទ្យា Vacuum laminating sintering ត្រូវបានប្រើដើម្បីសម្រេចបាននូវដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងសីតុណ្ហភាពកំដៅរហូតដល់ 550 ℃។
ការដាក់បញ្ចូលគ្នារវាងផ្សិតចំបើង ដើម្បីបង្កើនគុណភាពផលិតផល។
ប្រតិបត្តិការយូរអង្វែងនៅក្នុងបរិយាកាសបូមធូលី halogen ប្លាស្មា។
ប្រភេទស្មុគស្មាញ Electrostatic Chuck / Heater
អាចប្រើបានជាមួយស៊ីលីកុន, ហ្គាលីញ៉ូមអាសេនីត, ស៊ីលីកុនកាបូន, ត្បូងកណ្តៀងនៃការគៀប wafer អាចកាត់បន្ថយការចំណាយលើការផ្លាស់ប្តូរខ្សែរបស់អ្នកផលិតឧបករណ៍ និងអ្នកប្រើប្រាស់ចុងក្រោយ។ ដោយផ្អែកលើបច្ចេកវិជ្ជាសេរ៉ាមិចបេតុង និងបច្ចេកវិជ្ជាកែប្រែវត្ថុធាតុ polymer ការប្រើប្រាស់ស្រទាប់បូមធូលីរួមបញ្ចូលគ្នា និងបច្ចេកវិជ្ជាផ្សារភ្ជាប់ក្តៅអាចកាត់បន្ថយភាពធន់នឹងកម្ដៅខាងក្នុងរបស់ឧបករណ៍ជញ្ជក់អេឡិចត្រូស្តាត សម្រេចបាននូវឯកសណ្ឋាននៃសីតុណ្ហភាពខាងក្នុង បង្កើតជាស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ឌីអេឡិចត្រិចក្រាស់ ដើម្បីកែលម្អដំណើរការធន់ទ្រាំនឹងការផ្ទេរអ៊ីយ៉ុង។
ប្រភេទស្មុគ្រស្មាញ Chuck Electrostatic
ការប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាកែប្រែសេរ៉ាមិចបេតុង និងវត្ថុធាតុ polymer មានរចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់ជាងមុន និងការបញ្ចេញឧស្ម័នទាប។
ការគ្រប់គ្រងកាន់តែតឹងនៃស្រទាប់ dielectric និងកម្រាស់ធនាគារអេឡិចត្រូត។
ភាពចម្រុះនៃការតោងវត្ថុអាចត្រូវគ្នាជាមួយនឹងការគៀបនៃ wafers ផ្សេងគ្នា។
ភាពធន់របស់រាងកាយអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងត្រឹមត្រូវដើម្បីទទួលបានសមត្ថភាពកាន់អេឡិចត្រូស្ទិកខ្លាំងជាង។
ការអនុវត្តថ្លៃដើមខ្ពស់ រយៈពេលទទួលយកខ្លី សមរម្យសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍន៍ដំណើរការផលិតផល និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ការអភិវឌ្ឍន៍ឧបករណ៍ថ្មី។
ប្រភេទស្មុគ្រស្មាញ ចង្កឹះអគ្គិសនីជាមួយម៉ាស៊ីនកម្តៅ
វាអាចដឹងពីប្លង់នៃតំបន់សីតុណ្ហភាពកំដៅច្រើន និងមានសីតុណ្ហភាពកំដៅល្អ (±3.5% ℃ @ 150 ℃) ។
បច្ចេកវិទ្យា Vacuum lamination ត្រូវបានប្រើដើម្បីសម្រេចបាននូវដង់ស៊ីតេខ្ពស់ខ្លាំង និងសីតុណ្ហភាពកំដៅរហូតដល់ 200 ° C ។
ខ្សែកោងកំដៅឯកសណ្ឋាន ជាមួយនឹងជួរធំទូលាយនៃការកំណត់ខ្សែកោងសីតុណ្ហភាព។
ការអនុវត្តថ្លៃដើមខ្ពស់ រយៈពេលទទួលយកខ្លី សមរម្យសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍន៍ដំណើរការផលិតផល និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ការអភិវឌ្ឍន៍ឧបករណ៍ថ្មី។