리소그래피 기술은 사진 기술과 평판 인쇄 기술을 바탕으로 개발된 반도체 핵심 기술이다.
SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...