10년 넘게 침지 리소그래피는 반도체 제조의 주요 노광 기술이었습니다.
웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.
