정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
대중의 인상에 따르면 웨이퍼는 얇고 둥근 고순도 실리콘 웨이퍼이며, 이 고순도 실리콘 웨이퍼를 가공하여 다양한 회로 부품 구조를 생산할 수 있으므로...