EUV의 장점 중 하나는 칩 처리 단계가 단축된다는 점인데, 기존 다중 노광 기술 대신 EUV를 사용하면 증착, 식각, 공정 단계가 크게 단축됩니다.
IEEE 전문가들은 태양광 코팅부터 순간 충전 배터리에 이르기까지 나노기술이 광범위한 응용 가능성을 가지고 있다고 지적했습니다.