웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.
반도체 공정 전체는 반복적인 세정이 필요하며, 세정 공정은 반도체 산업 전반에 걸쳐 진행되며 전체 생산 공정의 30% 이상을 차지합니다.
