정보기술의 급속한 발전과 고효율 전자소자의 수요 증가로 인해 탄화규소(SiC)로 대표되는 3세대 반도체 소재...
반도체 및 광전자 산업에서는 일반적으로 매우 얇은 웨이퍼를 고급 세라믹 통기성 척에 놓고 진공 발생기에 부착한 후 진공 흡입으로 고정합니다. 파운틸 티...