반도체 및 광전자 산업에서는 일반적으로 매우 얇은 웨이퍼를 고급 세라믹 통기성 척에 놓고 진공 발생기에 부착한 후 진공 흡입으로 고정합니다. 파운틸 티...
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.