고밀도 세라믹 진공 척 (다공성 세라믹 진공 척)은 기공 크기가 2 ~ 3 미크론 인 특수 다공성 세라믹 소재로 차단하기 쉽지 않고, 높은 진공력, 일부 영역 광고...
SiC 에피택셜 층의 고품질 결정 품질 특성으로 인해 에피택셜 층은 신뢰성을 보장하기 위해 순도가 높고 결함 밀도가 낮은 결정 구조를 가져야 합니다.
