EUV의 장점 중 하나는 칩 처리 단계가 단축된다는 점인데, 기존 다중 노광 기술 대신 EUV를 사용하면 증착, 식각, 공정 단계가 크게 단축됩니다.
국내외 시험장비 선도기업 및 장비소개
