플라즈마는 1879년 William Crookes에 의해 처음 발견되었으며 1929년 Irving Langmuir에 의해 "플라즈마"라고 명명되었습니다. 칩 제조에 플라즈마를 적용하는 것은 매우 일반적이고 중요합니다.
엑스레이는 생산과 생활 전반에 널리 활용되고 있어 반도체 제조의 중요성은 자명하다. 오늘은 반도체 제조에 X-ray를 적용하는 방법에 대해 이야기해보겠습니다.