수년간의 시장 적용 끝에 이 SPI 감지 장비는 상당히 성숙하고 효율적이었습니다.
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.