고밀도 세라믹 진공 척 (다공성 세라믹 진공 척)은 기공 크기가 2 ~ 3 미크론 인 특수 다공성 세라믹 소재로 차단하기 쉽지 않고, 높은 진공력, 일부 영역 광고...
2018년 에칭 장비의 세계 시장 규모는 약 100억 달러에 달하며, 칩 공정 노드의 감소로 인해 에칭 단계가 더욱 증가하고 있으며...