웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.
고순도 흑연은 높은 온도 저항성, 우수한 전기 전도성 및 화학적 안정성을 갖고 있어 반도체 분야의 핵심 소재가 되었습니다.
