진공은 반도체 제조에서 매우 중요하며, 반도체 산업에서는 다양한 공정에서 진공 환경이 사용됩니다. 진공 환경에는 PVD(물리적 기상 증착), 화학적 V증착(Chemical Vapor Deposition) 등이 포함됩니다.
정보기술의 급속한 발전과 고효율 전자소자의 수요 증가로 인해 탄화규소(SiC)로 대표되는 3세대 반도체 소재...