고순도 흑연은 높은 내열성, 우수한 전기 전도도 및 화학적 안정성을 갖고 있어 반도체 분야의 핵심 소재가 되었습니다.
EUV의 장점 중 하나는 칩 처리 단계가 단축된다는 점인데, 기존 다중 노출 기술 대신 EUV를 사용하면 증착, 식각, 공정 단계가 크게 단축됩니다.
