정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
정밀 세라믹 재료는 다양한 성능 요구 사항에 따라 가공 방법이 다릅니다. 현재 주요 가공 방법에는 기계 가공, 전기 가공 등이 있습니다.
