다공성 척 테이블, 일컬어: 다공성 세라믹 진공 흡입기금속(또는 세라믹) 베이스와 특수 다공성 세라믹 조합, 내부 정밀 공기 전도 설계로 구성됩니다.
플라즈마는 1879년 William Crookes에 의해 처음 발견되었으며 1929년 Irving Langmuir에 의해 "플라즈마"라고 명명되었습니다. 칩 제조에 플라즈마를 적용하는 것은 매우 일반적이고 중요합니다.