진공은 반도체 제조에서 매우 중요하며, 반도체 산업에서는 다양한 공정에서 진공 환경이 사용됩니다. 진공 환경에는 PVD(물리적 기상 증착), 화학적 V증착(Chemical Vapor Deposition) 등이 포함됩니다.
탄화규소 세라믹은 고유한 물리적, 화학적 특성으로 인해 반도체/집적 회로 제조 장비에서 중요한 역할을 합니다.
