반도체 제조의 핵심 단계인 웨이퍼 스크라이빙은 칩의 품질과 출력에 직접적인 영향을 미칩니다.
다공성 세라믹 척은 나노 다공성 진공 척이라고도 불리며, 특수한 나노 분말 제조 공정으로 생산된 균일한 고체 또는 진공 구를 말하며, 많은 수의 세라믹 척이 사용됩니다.